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With its patented UPAC-system the AC 1500 P3 Advanced enables throughput optimized batch polishing with up to 18 200mm silicon wafers parallel. Additional installed sensors secures highest process control.

詳情介紹

Unique and patented UPAC (Upper Platen Adaptive Control) System
Monitoring of the cooling lubricant flow rate
Loop control

First-Class customer support for the highest machine availability and productivity
High-Pressure Conditioner
Slurry Recycling Station
Slurry Pressure Distribution

Integrated Process Data Recording (DataCare®)
Industry 4.0
Touch Screen

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