名稱

內(nèi)容

測量范圍

Z軸（垂直）

160μm

X軸（水平）

17.5mm

分辨率

Z軸（垂直）

0．01μm/±20μm

0．02μm/±40μm

0．04μm/±80μm

測量項目

參數(shù)

Ra、Rq、Rz、Rt、RP、Rv、RS、RSm、Rz(JIS)、Ry(JIS)、Rsk、R3z、Rmsx、Rpc、Rmr、Rk、Rpk、Rvk、Mrl、Mr2、V0

標準

ISO、ANSI、DIN、JIS

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln）

Ln=lr×n n=5

傳感器

測量原理

位移式差動電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測力

<4mN

導頭

紅寶石，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25, Vt=0.135mm/s

lr=0.8, Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5, Vt=1mm/s

返回 Vt=1mm/s

示值誤差

不大于±10%

示值變動性

不大于6%

電源

內(nèi)置鋰離子充電電池，用8.4V,1000mA充電器充電

外形尺寸

119×47×65mm

重量

約380g