JiZzJiZZ国产免费A_国产午夜成人AV在线播放_亚洲欧美在线观看一区二区_91久久久久精品无嫩草影院_欧美高清一区二区三区_欧美日韩国产码高清_亚洲精品国产电影_亚洲AV无码专区亚洲AV桃
廣告招募

誰知道等離子去膠機的原理？

2025年05月28日 08:08:28      來源：上海爾迪儀器科技有限公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量：8

分享：

等離子去膠法，去膠氣體為氧氣。其工作原理是將硅片置于真空反應(yīng)系統(tǒng)中，通入少量氧氣，加1500 V高壓，由高頻信號發(fā)生器產(chǎn)生高頻信號，使石英管內(nèi)形成強的電磁場，使氧氣電離，形成氧離子、活化的氧原子、氧分子和電子等混合物的等離子體的輝光柱?；罨酰ɑ顫姷脑討B(tài)氧）可以迅速地將聚酰亞胺膜氧化成為可揮發(fā)性氣體，被機械泵抽走，這樣就把硅片上的聚酰亞胺膜去除了。等離子去膠的優(yōu)點是去膠操作簡單、去膠效率高、表面干凈光潔、無劃痕、成本低、環(huán)保.

電介質(zhì)等離子體刻蝕設(shè)備一般使用電容耦合等離子體平行板反應(yīng)器。在平行電極反應(yīng)器中，反應(yīng)離子刻蝕腔體采用了陰極面積小，陽極面積大的不對稱設(shè)計，被刻蝕物是被置于面積較小的電極上。在射頻電源所產(chǎn)生的熱運動作用下帶負電的自由電子因質(zhì)量小、運動速度快，很快到達陰極；而正離子則由于質(zhì)量大，速度慢不能在相同的時間內(nèi)到達陰極, 從而使陰極附近形成了帶負電的鞘層。正離子在鞘層的加速下，垂直轟擊硅片表面，加快表面的化學反應(yīng)及反應(yīng)生成物的脫離，導(dǎo)致很高的刻蝕速率。離子轟擊也使各向異性刻蝕得以實現(xiàn)等離子體去膠的原理和等離子體刻蝕的原理是一致的。不同的是反應(yīng)氣體的種類和等離子體的激發(fā)方式。

版權(quán)與免責聲明：
1.凡本網(wǎng)注明"來源：中美貿(mào)易網(wǎng)"的所有作品，版權(quán)均屬于中美貿(mào)易網(wǎng)，轉(zhuǎn)載請必須注明中美貿(mào)易網(wǎng)。違反者本網(wǎng)將追究相關(guān)法律責任。
2.企業(yè)發(fā)布的公司新聞、技術(shù)文章、資料下載等內(nèi)容，如涉及侵權(quán)、違規(guī)遭投訴的，一律由發(fā)布企業(yè)自行承擔責任，本網(wǎng)有權(quán)刪除內(nèi)容并追溯責任。
3.本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點或證實其內(nèi)容的真實性，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品來源，并自負版權(quán)等法律責任。 4.如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系。

JiZzJiZZ国产免费A_国产午夜成人AV在线播放_亚洲欧美在线观看一区二区_91久久久久精品无嫩草影院_欧美高清一区二区三区_欧美日韩国产码高清_亚洲精品国产电影_亚洲AV无码专区亚洲AV桃