儀器特性

• 可尋址和編程的 200 毫米 x 200 毫米鏡臺(tái)
• 可使用 AFM 或 STM 掃描儀進(jìn)行小采樣區(qū)域原子分辨率成像
• 支持簡(jiǎn)單的、基于光學(xué)視角的對(duì)準(zhǔn)即拍 AFM 成像
• 精確的位置映射（精度為：0.5 µm），確保可重復(fù)性

描述

無(wú)論樣品的大小如何，Keysight 5600LS 大鏡臺(tái) AFM 都能夠交付高分辨率的結(jié)果。 多功能 5600LS 是一款商用 AFM，結(jié)合使用 AFM 和 STM 掃描儀可支持大樣品（在空氣中）和小樣品（在溫度控制下,空氣中或液體中）的成像。
5600LS 采用可尋址的 200 毫米 x 200 毫米鏡臺(tái)和全新的低噪聲設(shè)計(jì)。 真空卡盤可輕松置入直徑達(dá) 8 毫米，高 30 毫米的樣品。 通過(guò)重新定位，鏡臺(tái)可容納 300 毫米的晶片。 5600LS 是研究人員的理想工具，可用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)、生命科學(xué)研究等納米技術(shù)應(yīng)用。

5600LS 系統(tǒng)可編程電動(dòng)鏡臺(tái)可快速、精確地定位探頭，以進(jìn)行大小樣品的成像和映射。 研究人員可準(zhǔn)確地定位和識(shí)別感興趣的區(qū)域，儲(chǔ)存坐標(biāo)，并快速、精確地自動(dòng)重新定位樣品以備進(jìn)一步研究使用。