低溫等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器。 本工藝分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

　　1、低溫等離子凈化器微波激發(fā)區(qū)

　　本工藝有3至9個微波激發(fā)單位，根據(jù)被處理風量的不同數(shù)量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內有效作用于被處理空間(區(qū)域)，由于微波的功率相對較小，因此在激發(fā)能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計只是把微波作為初頻激發(fā)源，在處理過程中作為一種預激發(fā)能。由于微波的預激功能，極大的提高等離子體區(qū)，極板區(qū)的激發(fā)能力和處理效果，由于微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果。

　　2、低溫等離子凈化器離子體激發(fā)

　　本工藝有40支至240支充有特殊氣體的無極管組成的低溫等離子體激發(fā)區(qū)，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發(fā)體，大限度地在無極管區(qū)實現(xiàn)低溫等離子體區(qū)，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少。

　　3、低溫等離子凈化器極板區(qū)

　　根據(jù)被處理氣體的流量，極板間的電壓分12KV、16KV至42KV，極板間加以足夠高的電壓，在引風的作用下，極區(qū)由于負壓的作用，按照法拉第暗區(qū)理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實現(xiàn)低溫等離子體。

　　根據(jù)三類的功能區(qū)，集中的目的是實現(xiàn)低溫等離子體，由于理論和實際使用條件上的區(qū)別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。本工藝集三種技術與一體，原廢氣的去除率非常理想，高濃度廢氣去除率可達84%以上。

　　電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實際使用中實現(xiàn)廢氣的有效處理是極為復雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時間內躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分斷裂，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量更小，被進一步躍遷，與反應堆內的氧離子氫氧根離子發(fā)生反應，生成無害無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用，去除不同范疇的廢氣化合物，實地較為廣譜的去除空間。

　　去除污染物機理

　　等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

　　(1) 電場+電子→高能電子

　　(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團

　　(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱

　　(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱

　　從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團;之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。