創(chuàng)新的機(jī)械設(shè)計(jì)

ZEISS XENOS新型的機(jī)械設(shè)計(jì)基于經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的ZEISS CenterMax,令人印象深刻。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測(cè)量機(jī)不同：丫導(dǎo)軌 分布于側(cè)壁部，分離式移動(dòng)行程軸僅 橫梁于丫軸方向移動(dòng)，更小及恒定的移 動(dòng)重量一一與移動(dòng)式平臺(tái)相比堪稱 的勢(shì)。更低及恒定的移動(dòng)重量造就了 加速及高速度的統(tǒng)一。

所有軸均采用線性驅(qū)動(dòng)

XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動(dòng)。其點(diǎn)：高速、加速快、定位度高、驅(qū)動(dòng)無(wú)剪切力影響結(jié)合超高分辨率光柵 尺技術(shù)，XENOS的線性驅(qū)動(dòng)可獲得高 度穩(wěn)定性及低于結(jié)合超高分辨率光柵 尺技術(shù)，XENOS的線性驅(qū)動(dòng)可獲得高 度穩(wěn)定性及低于100納米的高定位度。例如，測(cè)針偏移量越恒定，即可獲得更佳的測(cè)量度。于測(cè)量曲面時(shí)更顯見(jiàn)另一勢(shì)：測(cè)針的移動(dòng)路徑與預(yù)定值越吻合，即可實(shí)現(xiàn)越出色的確性。

虛擬驅(qū)動(dòng)

于測(cè)量曲面時(shí)更顯見(jiàn)另一勢(shì)：測(cè)針的 移動(dòng)路徑與預(yù)定值越吻合，即可實(shí)現(xiàn)越 出色的確性。虛擬驅(qū)動(dòng)XENOS 于丫軸向配備雙線性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，得益于 蔡司新的驅(qū)動(dòng)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)異 的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置 分布驅(qū)動(dòng)力作為新控制系統(tǒng)及算法 之結(jié)合，這是在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)獲 得異的測(cè)量度及運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性的關(guān) 鍵因素。

碳化硅陶瓷

XENOS于丫軸向配備雙線性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，得益于蔡司新的驅(qū)動(dòng)技術(shù)可實(shí) 現(xiàn)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位 置分布驅(qū)動(dòng)力作為新控制系統(tǒng)及算法之結(jié)合，這是在整個(gè)測(cè)量范 圍內(nèi)獲得異的測(cè)量度及運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。碳化硅陶瓷XENOS在 與度密切相關(guān)的機(jī)器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產(chǎn)品或度的測(cè)量機(jī)器上得到使用與常規(guī)陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可大提升30°%,同時(shí)減重20°%。

加強(qiáng)型VAST gold
XENOS采用ZEISS VAST gold測(cè)量探頭。在研發(fā)過(guò)程中，蔡司在測(cè)量度和 測(cè)量重復(fù)度方面對(duì)該探頭進(jìn)行了化 XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與大長(zhǎng)度為800毫米的 測(cè)針以及大重量為500克的測(cè)針配套使用，包括非對(duì)稱型測(cè)針。

  
ZEISS VAST gold