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超緊湊設(shè)計(jì)
高重頻
TMC外殼
電暈預(yù)電離技術(shù)
固體開關(guān)
激光頭尺寸＜3I
風(fēng)冷，熱管理
可沖洗光學(xué)架
集成4氣門系統(tǒng)，便于氣體處理
RS485，RS232，USB，FOC接口
帶有能量穩(wěn)定模式
CE歐標(biāo)，RoHS認(rèn)證

指標(biāo)：

氣體	ArF		KrF
波長(zhǎng)（nm）	193		248
高壓開關(guān)	固體開關(guān)		固體開關(guān)
重頻（Hz）	300	500	300	500
脈沖能量(mJ)¹⁾	10		15
平均功率（W）	2.4	4.0	4.0	6
脈沖寬度（ns）	5-8
光束尺寸（V x H）(mm)2)	4x6
發(fā)散角（V x H）（mrad）²⁾	1x2
能量穩(wěn)定性	＜3%
尺寸 (mm)	630x400x300
重量（kg）	65
冷卻方式	Air
供電要求	230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase

1）在低頻時(shí)測(cè)量；穩(wěn)定模式下，允許10%的能量和功率下降

2）典型值，FWHM

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