- BDISCOM 10kW 中頻發(fā)生器（2 個(gè)電極）- ProfiBus -3 Tap- 版本 2 帶前面板顯示屏； - 19" 機(jī)架版本，帶 3 個(gè)變壓器級(jí) (400V / 650V / 800V) - 輸出功率：10 kW - 頻率：40 kHz； - 集成脈沖發(fā)生器：開/關(guān)時(shí)間：1 - 40 ms - 風(fēng)冷 - 接口：A / D - 尺寸：19"x 4 U - 電源電壓：3x 360 V - 480 VAC； 50/60 Hz - 匝數(shù)比為 1: 的外部高壓變壓器。 用于連接 4 個(gè)電極的分線盒 2 根 2 m 集成去耦電容器的硬接線連接電纜 - 從發(fā)電機(jī)到高壓變壓器盒的 10 m 可插拔電源線 重量：43,000 公斤 關(guān)稅編號(hào)： 99 原產(chǎn)國(guó)：ITA
- BDS-MF10KW2E-V2北斗發(fā)生器意大利BDiscom進(jìn)口
BDS-MF10KW2E-V2北斗發(fā)生器意大利BDiscom進(jìn)口
BDS-ARC發(fā)生器
的高性能發(fā)生器，適用于高效率 (> 90 %) 的大電流 CAE 過程
BDS-ARC 150 /250 電弧沉積發(fā)生器
簡(jiǎn)介： BDS-ARC150/250 是一款輸出高達(dá) 150 或 250 A 的直流發(fā)電機(jī)，專為 CAE 源設(shè)計(jì)。該系統(tǒng)采用緊湊輕便的 19 英寸外殼。
BDS-ARC150/250 的設(shè)計(jì)考慮了典型的系統(tǒng)集成商需求。
一些亮點(diǎn)：
該單元僅 178 毫米高。單個(gè)機(jī)柜中最多可安裝 6 個(gè)單元，從而節(jié)省空間和安裝成本。
在典型的應(yīng)用中，使用 220A/20V 的矩形 CAE 源，總功耗僅為 400W。
靈活的接口。提供 Profibus（選項(xiàng)）、RS232 和模擬用戶端口。
冷卻系統(tǒng)采用高效超大散熱器和風(fēng)扇變速控制。該裝置可以在 40°C 的全功率溫度下不間斷地運(yùn)行。
可應(yīng)要求提供集成在裝置中的非接觸式點(diǎn)火模塊。
在 1-50 Hz 頻率范圍內(nèi)提供電流輸出調(diào)制選項(xiàng)（雙電流設(shè)定點(diǎn)）
BDS-MF 5 - 10 - 15 kW @ 40kHz，高|低電壓交流等離子體發(fā)生器
BDS-MF 是一款 40 kHz 等離子體發(fā)生器，功率為 5、10 或 15 kW，專為 PECVD 或等離子體清潔應(yīng)用中的等離子體激發(fā)而設(shè)計(jì)。該裝置能夠在 7000V RMS 輸出下提供高達(dá) 10kW 的功率。
輸出為平衡型，可驅(qū)動(dòng)2個(gè)對(duì)稱電極。典型應(yīng)用是大型工藝室的 PE-CVD 工藝。一個(gè)的功能是內(nèi)置 2 個(gè)（標(biāo)準(zhǔn)）或 3 個(gè)（根據(jù)要求）變壓器抽頭的高壓匹配變壓器可用作阻抗匹配。
用戶只需將兩根同軸電纜連接到電極上。與用戶 PLC 的接口可以是模擬或數(shù)字 RS232 或 Profibus（根據(jù)要求）。亮點(diǎn)和好處：內(nèi)置輸出匹配變壓器，無需外接盒。風(fēng)冷機(jī)組。沒有與潮濕或漏水相關(guān)的風(fēng)險(xiǎn)。全功率，環(huán)境溫度高達(dá) 40C°。模擬接口。可根據(jù)要求提供 Profibus 接口。前面板顯示屏使安裝和故障排除更容易。高效率>90%。結(jié)構(gòu)緊湊輕便，僅重 20kg，4UI。BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列新一代價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力和高效率的 200、300 和 750 瓦 MHz 黑匣子射頻發(fā)生
BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列 BDISCOM 推出了新一代中低功率射頻發(fā)生器，旨在滿足實(shí)驗(yàn)室級(jí)和小型低壓工業(yè)等離子系統(tǒng)的需求。 型號(hào) 200-300-750
BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列
新一代價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力和高效率的 200、300 和 750 瓦 MHz 黑匣子射頻發(fā)生器
BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列
BDISCOM 推出了新一代中低功率射頻發(fā)生器，旨在滿足實(shí)驗(yàn)室級(jí)和小型低壓工業(yè)等離子系統(tǒng)的需求。
型號(hào) ，黑盒式，僅帶有模擬 0-10 VDC 端口。
中低功率黑匣子系列由一臺(tái) 200、300 或 750 W @ 13,56 MHz 輸出功率的單元組成，采用黑匣子配置，僅帶有模擬用戶端口，0-10 VDC A/D 接口。主 230 VAC 由與發(fā)電機(jī)一起提供的外部電源提供。
BDS HF Black Box (BB) 發(fā)生器的常見規(guī)格： BDS HF 系列是 E 級(jí)電路，典型效率為 85-90%。
輸出功率通過作用于直流母線的 PWM 電路進(jìn)行調(diào)制
CE 標(biāo)志 - 意大利制造
BDS HF 200 - 300 - 400 - 750 有源前面板系列
新一代價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力和高效率的 200、300 和 750 瓦 MHz 有源面板射頻發(fā)生器
BDS HF 200 - 300 - 750 有源前面板系列
BDISCOM 推出了新一代中低功率 HF 發(fā)生器，旨在滿足實(shí)驗(yàn)室級(jí)和小型低壓工業(yè)等離子系統(tǒng)的需求。
型號(hào) 200、300、400 和 750 W，有源前面板，直接調(diào)諧器接口。
中低功率 AFP（有源前面板）200、300 或 750 瓦系列是一種 1?2 機(jī)架安裝式發(fā)電機(jī)，具有直接調(diào)諧器控制和帶有 LCD 觸摸屏顯示的 AFP 可選擇功能和一個(gè)旋鈕編碼器用于微調(diào)參數(shù)?？筛鶕?jù)要求提供友好的用戶界面軟件和 RS 232-Profibus 接口。該裝置還可以配置為驅(qū)動(dòng) 2 個(gè)自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)作為選項(xiàng)。
有源前面板 (AFP) 發(fā)生器的常見規(guī)格：BDS HF 系列是 E 級(jí)電路，典型效率為 85-90%。
輸出功率通過作用在直流總線上的 PWM 電路進(jìn)行調(diào)制。
BDS AMN 750 射頻自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)
BDS AMN 750 射頻自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)
BDS AMN 750自動(dòng)匹配單元
BDISCOM 正在推出以 MHz 標(biāo)準(zhǔn) ISM 頻率運(yùn)行的新一代自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)單元，用于工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室用途。典型應(yīng)用包括濺射工藝、PECVD 沉積、等離子體激活、電介質(zhì)加熱、激光激發(fā)等。
BDS-AMN 750 型：基于額定電壓為 3000 V 的可變空氣帽的自動(dòng)匹配 | 高達(dá) 20 A。模擬用戶端口引腳與 200、300 和750 瓦發(fā)生器兼容。
BDS-AMN 750 是一種阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，用于 HF ( MHz) 等離子體應(yīng)用，將負(fù)載的復(fù)阻抗轉(zhuǎn)換為 50 歐姆電阻。調(diào)諧電路為L(zhǎng)型，采用優(yōu)質(zhì)可變電容和精密定位電機(jī)。典型的調(diào)諧類型小于 2 秒。此外，還提供適用于中等阻抗負(fù)載的 TEE 配置。
可以進(jìn)行范圍廣泛的完整預(yù)設(shè)或僅一個(gè)通道的預(yù)設(shè)。也可以獨(dú)立操作，只需要一個(gè)外部開關(guān)即可調(diào)用點(diǎn)火位置。DC BIAS 測(cè)量電路允許監(jiān)控 DC BIAS，比例為 100。
與所有 Bdiscom 射頻發(fā)生器直接連接。一個(gè)可用的單個(gè)匹配（真空繼電器）上的 3 通道 RF 輸出作為選項(xiàng)。
BDS-AMN 750 自動(dòng)匹配規(guī)格見附件 PDF：
CE 標(biāo)志 - 意大利制造
BDS SP 500 直流濺射電源
BDS SP 500 直流濺射電源
用于直流濺射工藝的 Bdiscom 電源。500 瓦 FS
具有快速電弧檢測(cè) (< 200 nSec) 和數(shù)字接口的價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力的直流電源。適用于中小型研發(fā)和工業(yè)濺射工具。
用于濺射工藝的 Bdiscom 直流電源。
高效率、高可靠性和市場(chǎng)上吸引力的價(jià)格。
一些亮點(diǎn)：
500 瓦 FS（1000 伏輸出），配備用戶友好的有源觸摸屏顯示器 (AFP)。
電源要求：230V - 1PH±10%
重量：約5公斤
尺寸： x 241 x 400（毫米）
調(diào)節(jié)方式：功率、電壓、電流
功率輸出：500 瓦特FS
輸出電壓： 1000 伏直流電
輸出電流：1 安培
電弧處理檢測(cè) lt; 200 納秒
接口：A/D，包括 RS 232（Profibus 選項(xiàng)）
冷卻：強(qiáng)制空氣
工作溫度：5-40℃
率 > 90 %
顯示：觸摸屏240x128像素
根據(jù) EN 55011 的 EMC 分類：
這是一種 ISM（工業(yè)科學(xué)醫(yī)療）設(shè)備，符合 EN 55011 第 2 組 A 類標(biāo)準(zhǔn)。
CE 標(biāo)志 - 意大利制造
BDS SP 3、6 和 12 濺射電源
BDS SP 3、6 和 12 濺射電源
用于直流濺射工藝的新型 Bdiscom 電源系列。三個(gè)范圍可供選擇：
* 3KW FS, 1000 Volt FS, 6 Amps 輸出
* 6KW FS, 1000 Volt FS, 12 Amps 輸出
* 12KW FS, 1000 Volt FS, 25 Amps 輸出
電弧檢測(cè) (< 200 nSec) 和數(shù)字接口。適用于中端研發(fā)和工業(yè)直流濺射工具
用于濺射沉積的新型 Bdiscom 直流電源。
一些亮點(diǎn)：
* 所有裝置均配備用戶友好的主動(dòng)式觸摸屏顯示器
* 點(diǎn)火電壓高達(dá) 1,1 kVolt
* 電弧檢測(cè) DV/DT 關(guān)閉時(shí)間 < 1mSec
* 冷卻空氣
電源要求：400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
功率輸出：3、6 和 12kw FS
電壓輸出：1000 Volt FS
電流輸出：6、12 和 25 安培
點(diǎn)火：1,1 KVolt
電弧檢測(cè)器 lt; 200 納秒檢測(cè)，< 1 毫秒 DV/DT 關(guān)閉時(shí)間
效率 gt; 90 %
顯示：觸摸屏240x128像素
調(diào)節(jié)模式：功率/電壓/電流（可選）
冷卻：空氣（強(qiáng)制）
接口：RS 232 - Profibus - A/D（Profibus 選項(xiàng)）
工作溫度：5-40℃
尺寸：19"機(jī)架 - 4HU
根據(jù) EN 55011 的 EMC 分類：
這是 ISM（工業(yè)科學(xué)醫(yī)療）設(shè)備，符合 EN 55011 第 2 組 A 類標(biāo)準(zhǔn)。
CE 標(biāo)志 - 意大利制造
BDS GLOW 3000/6000 發(fā)電機(jī)
用于輝光放電過程的帶有 AFP（觸摸屏有源前面板）的新型高壓直流發(fā)生器
新型 BDISCOM 高效 (90%) 高壓直流電源，可用于任何研發(fā)或工業(yè)真空等離子系統(tǒng)。
新的 BDS Glow 用于獲得非常穩(wěn)定和可靠的 HV DC 等離子體，以便在涂層工藝之前清潔或蝕刻基板。
與大多數(shù)新的 BDISCOM PSU 系列一樣，它配備了用戶友好的觸摸屏有源顯示器和一個(gè)編碼器，以限度地提高參數(shù)設(shè)置、分辨率和微調(diào)。
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