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粒子計(jì)數(shù)器的校正方法和基本步驟

2025年06月29日 10:14:51      來源:華虹科技有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺(tái)      閱讀量:5

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粒子計(jì)數(shù)器的校正方法和基本步驟

校正的基本步驟:

現(xiàn)假設(shè)對(duì)一臺(tái)常見的Royco HH200作校正

1、首先,要清楚Royco 323和HH200A有何差別,其測試原理一樣,但Royco 323流速為1CFM(立方英尺/分鐘),而Royco HH200則為0.1CFM。

2、將潔凈臺(tái)開機(jī),工作半小時(shí),其間內(nèi)也打開Royco 323和Royco HH200,讓其預(yù)熱半小時(shí)。

3、準(zhǔn)備好255的取樣器管,并搭接好其所有氣體管路。

4、將配好的標(biāo)準(zhǔn)液(如0.301um)放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過噴嘴。

5、設(shè)置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)

(1)取樣時(shí)間都設(shè)置為00:01:00

(2)取樣次數(shù)都設(shè)置03

(3)取樣模式都設(shè)置為Auto

(4)間隔時(shí)間都設(shè)置為00:00:05

(5)讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative

注:以上設(shè)置相同,因其流速有10倍差,故Royco323測試結(jié)果會(huì)是Royco HH200的10倍。

6、打開255電源,調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn),干燥氣體流速計(jì)約60SCFH時(shí)后,保持其工作狀態(tài)。

7、讓Royco 323和Royco HH200同時(shí)工作,看其三次的平均結(jié)果,若在20%以內(nèi),視為合格。

8、拆下脫原子瓶,重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子,重復(fù)該測試。

9、以上校正只是對(duì)比校正,尚*用萬用表對(duì)其基本參數(shù)測量,用示波器對(duì)其信號(hào)捕捉等來輔助調(diào)校。

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