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粒子計數(shù)器的校正原理
本文介紹的是氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正所需設(shè)備、基本原理已經(jīng)基本步驟。
1、100級潔凈房或潔凈臺
2、一臺用于作對比,尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計數(shù)器
3、各粒徑的標準粒子
4、可產(chǎn)生脫離水(DI水)的純水系統(tǒng)或類似裝置
5、標準粒子氣體產(chǎn)生器
6、其它普通電器
二、校正的基本原理:
標準粒子通過255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體,并由其內(nèi)置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路,這時,將兩臺相同塵埃粒子計數(shù)器同時或先后對取樣管進行抽樣測試,并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內(nèi),認為合格。如果不同型號的粒子計數(shù)器,一定要弄清楚其流速,取樣時間,取樣次數(shù)等參數(shù),并且,還要明白怎樣理解其測試結(jié)果。