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潔凈度級別 | 懸浮粒子*大允許數(shù)/立方米 | |||
靜態(tài) | 動態(tài) | |||
≥0.5μm | ≥5.0μm | ≥0.5μm | ≥5.0μm | |
3520 | 20 | 3520 | 20 | |
B級 | 3520 | 29 | 352000 | 2900 |
C級 | 352000 | 2900 | 3520000 | 29000 |
D級 | 3520000 | 29000 | 不作規(guī)* | 不作規(guī)* |