近年來(lái)隨著工業(yè)儀器儀表控制技術(shù)、微型機(jī)械系統(tǒng)的不斷發(fā)展，現(xiàn)如今在很多工況下需求體積更小巧、功能更集成、性能更優(yōu)異、長(zhǎng)壽命、無(wú)油環(huán)保的微型真空泵、微型真空抽打氣泵、微型真空水泵等產(chǎn)品得到越來(lái)越多的廣泛使用。如：設(shè)備成套、實(shí)驗(yàn)室抽真空添加試劑、汽車(chē)配件運(yùn)用、環(huán)保采樣、食品飲料灌裝、工廠(chǎng)吸附設(shè)備主要?dú)庠?、一般?yīng)用氣路系統(tǒng)設(shè)計(jì)等領(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用前景。
        微型泵作為微流量控制系統(tǒng)的核心執(zhí)行部件，需要結(jié)合應(yīng)用場(chǎng)景、微型泵相關(guān)參數(shù)和結(jié)構(gòu)特性，對(duì)氣路中流量、真空度、壓力進(jìn)行綜合設(shè)計(jì)，本文通過(guò)對(duì)于流量調(diào)節(jié)回路設(shè)計(jì)、真空度調(diào)節(jié)回路設(shè)計(jì)、壓力調(diào)節(jié)回路設(shè)計(jì)、進(jìn)排氣切換回路設(shè)計(jì)、流量脈動(dòng)性消除氣路設(shè)計(jì)，對(duì)微型泵典型氣路系統(tǒng)設(shè)計(jì)進(jìn)行了描述，可作為工程設(shè)計(jì)人員在微型泵氣路設(shè)計(jì)和選型時(shí)的技術(shù)參考。

本設(shè)計(jì)指南包含以下內(nèi)容：

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目  錄                                                                     3
1 背景介紹                                                             4
    1.1 背景介紹                                                      4
    1.2 基礎(chǔ)知識(shí)                                                      4
    1.3 流量脈動(dòng)性                                                   6
2 流量調(diào)節(jié)回路                                                      9
    2.1 流量調(diào)節(jié)回路設(shè)計(jì)                                        9
    2.2 通過(guò)調(diào)速功能調(diào)節(jié)流量                                10
    2.3 導(dǎo)致流量衰減的因素和解決方案                   11
3 真空度調(diào)節(jié)回路                                                  13
    3.1 真空度調(diào)節(jié)回路設(shè)計(jì)                                    13
    3.2 導(dǎo)致真空度衰減的因素和解決方案               14
4 壓力調(diào)節(jié)回路                                                     16
    4.1 壓力調(diào)節(jié)回路設(shè)計(jì)                                       16
    4.2 導(dǎo)致壓力衰減的因素和解決方案                  17
5 進(jìn)排氣切換回路                                                 19
    5.1 采用二位四通閥實(shí)現(xiàn)進(jìn)排氣切換                  19
6 流量脈動(dòng)性消除方案                                          21
    6.1 通過(guò)緩沖氣室消除流量脈動(dòng)性                     21
    6.2 其他替代方案                                              22