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等離子清洗機(Plasma cleaner)也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀是一種利用等離子體技術(shù)進行表面清洗和改性的高科技設(shè)備。等離子體是物質(zhì)的第四種狀態(tài),區(qū)別于我們熟知的固態(tài),液態(tài),氣態(tài),它由高速運動的電子,離子,自由基,原子,分子等活性物質(zhì)組成,在整體上保持電中性。
在等離子清洗中,通過向真空室內(nèi)的氣體施加高能電場,使得氣體分子電離形成等離子體。這個等離子體含有高能粒子和自由基等活性物質(zhì)。當樣品放入等離子體中,這些活性物質(zhì)會與樣品表面相互作用。
表面清洗:清除表面污垢,油脂,有機污染物,微粒等,達到高度清潔的效果。