本文所介紹的波紋管，用在超高真空系統(tǒng)中可實現(xiàn)彎曲、伸縮和偏心作用(圖1)，要求波紋管有可靠的密封性能和使用壽命。
圖1 成型波紋管的使用形式
波紋管通常分為成型波紋管和焊接波紋管兩種，用在超高真空系統(tǒng)中的波紋管材質，一般選用SUS316型號不銹鋼。
制作口徑稍微大一點兒的成型波紋管，首先將不銹鋼板材卷成筒狀，接口處焊接。將圓筒插入波紋管模具中，通過液壓完成成型波紋管的制作。
在超高真空系統(tǒng)中，連接分子泵和機械泵的波紋管，多采用兩端為NW 法蘭的成型波紋管。
成型波紋管的優(yōu)點是制作簡單、成本低。缺點是伸縮和柔韌性不足。彌補成型波紋管不足的是焊接波紋管。
焊接波紋管是將圓環(huán)狀的不銹鋼薄片，內徑和外徑交替焊接而成的薄壁褶皺軟管(圖2)。焊接方式為等離子焊，這種波紋管有極大的伸縮性，是超高真空系統(tǒng)的連接和各種運動導入器中的部件。合理選擇波紋管的自然長度，使用壽命可達數(shù)十萬次以上。
