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電子級超純水的技術(shù)要求

2025年06月08日 10:05:23      來源：內(nèi)蒙古康健水處理設(shè)備有限責(zé)任公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量：8

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在半導(dǎo)體制作工藝中，80%以上的工序要經(jīng)過化學(xué)處理，而每一道化學(xué)處理都離不開超純水；在硅片的處理工序中，一半以上的工序經(jīng)過超純水清洗后便直接進入高溫處理過程，此時如水中含有雜質(zhì)便會進入硅片，造成器件性能下降成品率低。

    電子工業(yè)提出的超純水電阻率≥18MΩ.cm (25℃),已極其接近理論純水水質(zhì)18.3 MΩ.cm (25℃)。對電解質(zhì)、DO、TOC、SIO2、顆粒及細菌等技術(shù)指標(biāo)提出更高要求。如256兆位的動態(tài)隨機儲存器生產(chǎn)工藝，光刻線條寬已達0.1微米,要保證這一指標(biāo),超純水中顆粒徑就得≤0.05μm,而且≥0.05μm不得超過500個/升超純水。

電子級超純水的技術(shù)要求級別

 

 

 

指標(biāo)

中華人民共和國電子級水國家標(biāo)準(zhǔn)（GB/T11446.1997）

ASTM電子級水

(E-I)標(biāo)準(zhǔn)

(1993年)

EW-I

EW-II

EW-III

EW-IV

設(shè)計參考值


電阻率

MΩ.cm(25℃)

18以上

(95%時間)

不低于17

15

(95%時間)不低于13

12.0

0.5

10以上

(95%時間)

不低于5

18以上(90%時間)不低于

17

全硅,μg/L

2

10

50

1000

≤20.0

5(SIO2)

>1μm微粒數(shù),

值,個/mL

0.1

 

5

10

500

10

0.1

 

細菌個數(shù),

值個/ mL

0.01

0.1

10

100

≤<10

1/1000

銅值, μg/L

0.2

1

2

500

≤2

1

鋅值, μg/L

0.2

1

5

500

≤5

0.5

鎳值, μg/L

0.1

1

2

500

≤2

0.1

鈉值, μg/L

0.5

2

5

1000

≤5

0.5

鉀值, μg/L

0.5

2

5

500

≤5

2

氯值, μg/L

1

1

10

1000

≤10

1

硝酸根,

值, μg/L

1

1

5

500

≤5

1

磷酸根,

值, μg/L

1

1

5

500

≤5

1

硫酸根,

值, μg/L

1

1

5

500

≤5

1

總有機碳,

值, μg/L

20

100

200

1000

≤200

1

細菌內(nèi)毒素

(E.U.)






0.03

 


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