對(duì)于真空度為10—3mm／Hg，要有專用真空泵設(shè)備；為了防止油蒸汽污染分光儀的內(nèi)部，影響光學(xué)零件的透過率，真空泵設(shè)在分光儀的底部。采用防震措施，使整個(gè)分光儀的光路不受震動(dòng)的影響。

真空室內(nèi)與真空外部接觸的運(yùn)動(dòng)零件(如描跡狹縫，石英窗，透鏡)要盡量減少，并需要密封材料，以免在抽真空時(shí)發(fā)生漏氣，影響真空度。

真空直讀光譜儀的結(jié)構(gòu)要比非真空直讀光譜光復(fù)雜，各種光學(xué)元件置于真空分光室中這種殼體必須保證在真空度的作用下不變形，相對(duì)位置不發(fā)生變化；尤其是分光室的結(jié)構(gòu)必須考慮受力均勻，變形小。

真空光電直讀光譜儀主要是用來研究真空紫外光譜區(qū)入<>

由于空氣成分主要是由氮、氧、水蒸汽和各種惰性氣體組成，其中以前三者含量，空氣對(duì)遠(yuǎn)紫外光譜的吸收是很強(qiáng)烈的，尤其以氧氣的吸收嚴(yán)重。

氧氣在遠(yuǎn)紫外光譜區(qū)存在著兩個(gè)吸收區(qū)，個(gè)吸收區(qū)是從195nm開始直到176nm左右。在160—130nm的光譜區(qū)氧氣基本上是透明的。第二個(gè)吸收區(qū)是110—130nm或者更短波長，該吸收區(qū)的吸收峰處在145nm附近。在吸收峰附近，14微米厚的氧氣層在常溫常壓下能吸收進(jìn)入其中的一半輻射強(qiáng)度。