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哪些問題會影響等離子清洗機的應用

2025年05月11日 08:55:54      來源：江蘇士磐半導體設備有限公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量：9

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　　影響等離子清洗作用的要素有許多，其中最首要的是電源功率頻率、作業(yè)壓強、作業(yè)氣體種類以及清洗的時刻。等離子清洗的作用會跟著功率的增大而變好；作業(yè)壓強的挑選要根據(jù)清洗的基片進行合理選用，當以物理作用為主時應減小壓力以增大離子能量。


　　當以化學作用為主時要增大一些壓力，保證反響氣體濃度，清洗時刻也要保證清洗作用的一起減小能耗。電極的設計對等離子清洗作用有著顯著的影響，首要包括電極的材料、布局和尺度等要素。對于內電極等離子清洗體系。


　　因為電極暴露在等離子體中，某些材料的電極會被一些等離子體刻蝕或產(chǎn)生濺射現(xiàn)象，形成不必要的污染并導致電極尺度的變動，進而影響等離子清洗體系的穩(wěn)定性。電極的布局對等離子清洗的速度和均勻性有較大影響。


　　較小的電極距離可以將等離子體約束在狹小的區(qū)域從而獲得較高密度的等離子體，實現(xiàn)較快速度的清洗。跟著距離的添加清洗速度逐步下降但均勻性逐步增強，電極的尺度一般決定了等離子體系的全體容量，在電極平行分布的等離子清洗體系中，電極一般作為托盤運用，較大尺度的電極可以一次清洗更多的元器件，進步設備的運轉效率。
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