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CVD反應(yīng)爐的種類有以下幾種:
1,熱絲 Hot Filament
2,直流電弧噴射 DC Arc Jet
3,微波等離子 Microwave Plasma
前二種適合生長(zhǎng)多晶薄膜。微波分為2.45GHz及0.915GHz兩種頻率, 后者可以做到數(shù)十到百KW的功率,其托盤直徑可達(dá)4-6英寸,較前者的生產(chǎn)效率(6KW,2英寸)高很多,大型設(shè)備是未來(lái)CVD爐的趨勢(shì)。