高頻淬火感應淬火件在淬火應力超過了材料屈服點時，就會出現(xiàn)塑性變形。在工藝與材料上采取相應的措施，可以將此變形量減少。與一般熱處理工藝相比，感應淬火件的變形，由于加熱快、硬化層淺，相對來說變形量是較小的。
感應淬火前的材料狀態(tài)與感應淬火后的變形有直接關(guān)系
以鍛鋼曲軸為例，鍛造后，一般經(jīng)調(diào)質(zhì)或正火處理，然后在機加工前進行校正工序。如果此預先熱處理工序變形量大，校正后未消除應力，對感應淬火后的變形有極大影響。試驗證明，機加工后的曲軸經(jīng)過高溫回火，消除了應力，感應淬火后的彎曲量大大減少。
拖拉機零件臺車軸熱軋圓鋼，經(jīng)正火處理，淬火后變形減少。
校正輥裝置
感應淬火件在淬火時，有校正輥裝置，淬火后變形量可大大減少，例如半軸、曲軸均有試驗數(shù)據(jù)。曲軸在校正輥支承下進行淬火。
用預彎補償變形彎曲
對鋼軌、機床導軌面淬火，由于是單面淬火，淬火后硬化層體積增大，會使淬硬面凹下去。消除的辦法有采用預彎的，即預先將淬火面鼓起來，使淬火后的凹下變形能相互抵消。
圓筒類薄壁零件
對圓筒類薄壁零件淬火加熱時，外面有輔助噴液冷卻，可減少內(nèi)孔淬火后的變形。同樣，汽車零件突緣、圓柱外表面需淬火，而內(nèi)孔是花鍵，壁厚又很薄，外圓感應加熱時，其內(nèi)孔定位心軸會噴出冷卻水，可減少內(nèi)孔因外圓淬火而脹大。