使用粗糙度測(cè)量?jī)x方法介紹
下面小編來(lái)講一下,使用粗糙度測(cè)量?jī)x方法介紹
干涉法:利用光波干涉原理將被測(cè)表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來(lái),粗糙度測(cè)量?jī)x并利用放大倍數(shù)高的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進(jìn)行測(cè)量,以得出被測(cè)表面粗糙度。應(yīng)用此法的表面粗糙度測(cè)量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用于測(cè)量Rz和Ry為0.025~0.8微米的表面粗糙度。
觸針?lè)ǎ豪冕樇馇拾霃綖?微米左右的金剛石觸針沿被測(cè)表面緩慢滑行,金剛石觸針的上下位移量由電學(xué)式長(zhǎng)度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號(hào),經(jīng)放大、濾波、計(jì)算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數(shù)值,也可用記錄器記錄被測(cè)截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數(shù)值的測(cè)量工具稱為表面粗糙度測(cè)量?jī)x。
光切法:光線通過(guò)狹縫后形成的光帶投射到被測(cè)表面上,以它與被測(cè)表面的交線所形成的輪廓曲線來(lái)測(cè)量表面粗糙度。由光源射出的光經(jīng)聚光鏡、狹縫、物鏡1后,以45°的傾斜角將狹縫投影到被測(cè)表面,形成被測(cè)表面的截面輪廓圖形,然后通過(guò)物鏡2將此圖形放大后投射到分劃板上。利用測(cè)微目鏡和讀數(shù)鼓輪,先讀出h值,計(jì)算后得到H值。應(yīng)用此法的表面粗糙度測(cè)量工具稱為光切顯微鏡。它適用于測(cè)量RZ和Ry為0.8~100微米的表面粗糙度,需要人工取點(diǎn),測(cè)量效率低。
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