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聚焦智能控制、測量與信號處理 IEEE-ICMSP 2022在杭州開幕
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2025年03月21日 09:29:18 來源:上海仲圣機電設(shè)備有限公司 >> 進入該公司展臺 閱讀量:11
硅諧振傳感器原理硅諧振傳感器是對單晶硅采用技術(shù)完善的3-D半導(dǎo)體微機械加工技術(shù)制作而成。在傳感器上微加工兩個H型振子,均具有高頻輸出。施加壓力時,H型振子同時受力,一個受到壓力,另一個受到拉力。諧振頻率發(fā)生相應(yīng)的變化,從而產(chǎn)生與作用壓力直接成比例的高差壓輸出(kHz)。這一簡單的時間函數(shù)由微處理器管理。
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