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硅諧振傳感器原理

2025年03月21日 09:29:18      來源:上海仲圣機電設(shè)備有限公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量:11

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硅諧振傳感器原理

硅諧振傳感器是對單晶硅采用技術(shù)完善的3-D半導(dǎo)體微機械加工技術(shù)制作而成。在傳感器上微加工兩個H型振子,均具有高頻輸出。施加壓力時,H型振子同時受力,一個受到壓力,另一個受到拉力。諧振頻率發(fā)生相應(yīng)的變化,從而產(chǎn)生與作用壓力直接成比例的高差壓輸出(kHz)。這一簡單的時間函數(shù)由微處理器管理。

  • 微機械處理單晶硅,可以提高穩(wěn)定性和再現(xiàn)性,消除滯后現(xiàn)象。
  • 溫度的影響是其他硅技術(shù)(10ppm/℃)的十分之一弱,因此即使是條件*苛刻的過程應(yīng)用中都可以確保出色的穩(wěn)定性。相比模擬傳感器,硅諧振傳感器輸出可以產(chǎn)生更高的信噪比。硅諧振傳感器的輸出至少是其前任產(chǎn)品壓阻式硅傳感器的四倍。溫度和靜壓產(chǎn)生的誤差在整體輸出中可忽略不計。

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