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按理論計(jì)算，電子顯微鏡分辨本領(lǐng)的極限在3埃左右。此值與2~3種金屬原子的大小處于同一數(shù)量級(jí)，這就意味著用電子顯微鏡有可能直接看到原子。
市場(chǎng)上出售的電子顯微鏡，根據(jù)其分辨本領(lǐng)可分為：超高分辨本領(lǐng)級(jí)、高分辨本領(lǐng)級(jí)、普通分辨本領(lǐng)級(jí)三等。
超高分辨本領(lǐng)級(jí)：達(dá)到原子水平的分辨本領(lǐng)，可把原子一個(gè)一個(gè)分別開(kāi)觀察。
高分辨本領(lǐng)級(jí)：只能把數(shù)個(gè)原子組成的集團(tuán)作為一個(gè)點(diǎn)來(lái)觀察。
普通分辨本領(lǐng)級(jí)：大于20埃的分辨本領(lǐng)。
| 超高分辨本領(lǐng)級(jí) | 高分辨本領(lǐng)級(jí) | 普通分辨本領(lǐng)級(jí) |
分辨本領(lǐng) | <10(1nm) | 10-20 | 20< |
直接放大率 | -200,000 | -100,000 | -10,000 |
加速電壓(千伏) | 100 | 80-100 | 50 |
聚光鏡 | 雙聚光鏡 | 雙聚光鏡 | 單聚光鏡 |
消像散裝置 | 不可缺 | 不可缺 | 不可缺 |
電源穩(wěn)定度 | ＜10-5 | 10-4-10-5 | ＜10-4 |
真空度(毫米汞柱) | 10-5 | 10-4-10-5 | -5×10-4 |
實(shí)驗(yàn)室獲得電子顯微鏡分辨率本領(lǐng)理論極限值的意義：僅僅考慮電子束和透鏡系統(tǒng)而推算出來(lái)的。作為實(shí)驗(yàn)室必須考慮到鏡體的振動(dòng)，樣品漂移的穩(wěn)定性，外部磁場(chǎng)的影響，樣品和透鏡光闌的“污染”，合軸調(diào)整，消像散等許多因素。
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