真空箱氦檢漏中氦質(zhì)譜檢測(cè)系統(tǒng)的關(guān)鍵部件是進(jìn)口設(shè)備，性能穩(wěn)定可靠，能夠滿足各種需求。真空箱氦泄漏檢測(cè)顯示長(zhǎng)體積和的性能，適用于許多行業(yè)。真空箱氦泄漏檢測(cè)采用氦質(zhì)譜和反擴(kuò)散原理。采用分子泵，180°磁場(chǎng)不均勻，采用全自動(dòng)控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)氦峰自動(dòng)掃描、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)量程切換。它具有檢測(cè)速度快、檢測(cè)靈敏度高、抗干擾性好等優(yōu)點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀可以檢測(cè)微電子或半導(dǎo)體器件封裝腔體的氣密性。該檢測(cè)方法使用的示蹤氣體為氦氣，質(zhì)量小、重量輕、滲透性強(qiáng)，達(dá)到了精細(xì)檢漏的目的。真空箱氦泄漏檢測(cè)有五個(gè)特點(diǎn):一是檢測(cè)時(shí)間和響應(yīng)周期很短，可達(dá)2s以內(nèi)；二是常用檢測(cè)介質(zhì)，只需壓縮空氣；三、大泄漏有多種防護(hù)方法，充分保護(hù)離子源在暴露于大氣中時(shí)不受氧化沖擊和沖擊；四、大檢漏功能:通過預(yù)設(shè)壓力，可以排空，但達(dá)不到預(yù)設(shè)值，檢漏儀自動(dòng)給出報(bào)警提示。多個(gè)測(cè)量單位的選擇，檢測(cè)數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)更新，直接輸出，Excel表格的生成。采用真空法檢漏時(shí)，應(yīng)使用輔助真空泵或檢漏器對(duì)被檢產(chǎn)品的內(nèi)密封室抽真空，并用氦氣或空氣射流向被檢產(chǎn)品表面注入氦氣。當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣通過漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，然后通過氦質(zhì)譜檢漏儀送到被檢產(chǎn)品的測(cè)漏裝置。真空法按漏氣方式可分為真空噴射法和真空氦氣面罩法。其中真空氦掩膜法是用噴槍向被測(cè)產(chǎn)品外表面吹氦氣的方法，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的定位；真空氦罩法用具有一定密封功能的氦罩覆蓋所有待檢產(chǎn)品，使待檢產(chǎn)品充滿一定濃度的氦氣，可以測(cè)量待檢產(chǎn)品的總泄漏率。