超聲波除塵，起源于美國(guó)，是一種非接觸式除塵系統(tǒng)。早期的超聲波除塵是由高壓Air Blow的方式將微塵吹起，再用真空負(fù)壓Vacuum將微塵吸入，結(jié)果100um以下的微塵還有較多殘留，沒(méi)有達(dá)到預(yù)期的效果。后又引入在除塵頭中增加超聲振子的方式，以產(chǎn)生超聲氣體來(lái)進(jìn)行除塵，但由于超聲能量不能有效到達(dá)材料表面以及噪音等原因，這種設(shè)計(jì)也逐漸被淘汰。Hugle在對(duì)流體力學(xué)充分研究的基礎(chǔ)上，開(kāi)發(fā)出了一種內(nèi)部設(shè)計(jì)的除塵頭，空氣經(jīng)過(guò)內(nèi)部的特殊線路，層層加壓，最終從出口吹出的空氣已成為具有超聲波的波段。

    對(duì)于除塵系統(tǒng)的除塵效率，需要指出的是，附著于物體表面的微塵，其吸附的要因有自由落體、靜電、濕氣、油脂、膠粘等等，而且并非全是依靠單純要因影響附著強(qiáng)度，大部分的微塵是按照復(fù)合要因附著于物體表面。有時(shí)可去除1um大小的自由落體微塵，而含有油脂成分的微塵連30um大小都去除不掉。因靜電要因附著的微塵長(zhǎng)時(shí)間存留于大氣中，吸收大氣中含有Na、K等各種成分的濕氣，其干燥后會(huì)和接觸面產(chǎn)生結(jié)構(gòu)性吸附，而改變附著力。因此無(wú)視周遭環(huán)境和附著要因而要求除塵性能可以說(shuō)是一個(gè)錯(cuò)誤的概念。