熱式氣體質(zhì)量流量計可以測量氣體的流量和氣體的質(zhì)量。測量時采用的溫差測量，使測量范圍更廣。其中，它還表現(xiàn)出諸多特點，具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便、測量準(zhǔn)確等優(yōu)點。正是這些優(yōu)點的存在，使得它的應(yīng)用越來越廣泛。本文主要介紹熱式氣體質(zhì)量流量計的測量原理。

　　熱式氣體質(zhì)量流量計測量原理：

　　熱式氣體質(zhì)量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準(zhǔn)級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。即當(dāng)流體流經(jīng)加熱物體時，加熱物體的熱損失與流體的流速成正比。該系列流量計的傳感器有兩個標(biāo)準(zhǔn)RTD，一個用作熱源，另一個用于測量流體的溫度。流體流動時，兩者的溫差與流量呈線性關(guān)系，然后通過微電子控制技術(shù)，將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。

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