微小量程電阻式直線位移傳感器(電子尺)線性精度誤差的分析
目前國內(nèi)外的小量程(5~25mm行程)的電阻式直線位移傳感器其線性精度誤差一般在+-0.3%左右,很難突破做到+-0.1%的線性精度內(nèi).比如德國或是美國進(jìn)口的電阻式位移感測器線性誤差也是在+-0.2%附近,其原因是因為小行程的位移感測器其總的位移行程很短,而在這很短的行程內(nèi)修刻電阻體或是檢測電阻體時對修刻設(shè)備的精度及檢測設(shè)備的精密度都是很高的要求,再加上電阻體印刷時每個行程位置的厚薄都不一樣,且修刻出來電阻體的電壓值跟位移量其線性度因為要在很小的行程取多點的電壓值所以誤差會比相對大行程取相同點數(shù)的電壓值來的大(如下圖所示),所以小行程電阻式位移感測器之線性精度很難讓其修刻后的線性精度達(dá)到+-0.1%.
直線位移傳感器量測行程大小之量測取點數(shù)對線性精度的引響.
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