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客戶要求:
1,雙向重復(fù)定位精度:±1μm;
2,平臺(tái)具備快速定位能力,穩(wěn)態(tài)時(shí)間<100ms;
3,2mm快速點(diǎn)定位,要求運(yùn)動(dòng)時(shí)間<70ms;
4,激光打孔工作時(shí)間15ms,要求單孔加工<185ms,即5-6孔/min;
5,XY單獨(dú)運(yùn)動(dòng),沒有插補(bǔ)運(yùn)動(dòng);
6,材質(zhì)陶瓷基片;