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不銹鋼平臺在真空環(huán)境中的使用說明

2025年02月03日 08:43:52      來源:成都邁微信光電儀器有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺      閱讀量:13

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放出氣體量
型號放出氣體量Q(排氣40分鐘后)
(Torr·?/s/unit)(Pa·?/s/unit)
TSDS-602S3.57×10-54.76×10-3
TSDS-6031.65×10-52.20×10-3

評價裝置的技術(shù)指標(biāo)

排氣裝置 :
渦輪分子泵 STP-301
EDWARDS會社
排氣速度: 300?/sec

質(zhì)量分析裝置 :
四極質(zhì)譜分析儀 QME200
PFEIFFER社制造
測量范圍: 1 - 200amu

真空腔內(nèi)的真空度
邁微信
質(zhì)量成分比例
質(zhì)譜峰的解釋

利用質(zhì)譜測定殘留氣體時,各分子量處出現(xiàn)的峰值到底是怎樣的氣體,其主要成分的一覽表及其解釋如下。

殘留氣體譜線一覽表

 

 

所屬類別: 技術(shù)參考

該資訊的關(guān)鍵詞為:

 
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