7月31日，日立公司(以下簡(jiǎn)稱“日立高新”)同步正式推出重磅電鏡新品——肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU7000，它縮短了通過(guò)采集多種信號(hào)獲取樣品多種信息的時(shí)間，真正實(shí)現(xiàn)了高通量的觀察與分析。

SU7000外觀圖

　　掃描電子顯微鏡(SEM)可通過(guò)檢測(cè)樣品激發(fā)出的二次電子、背散射電子、X射線等信號(hào)，獲得從微細(xì)結(jié)構(gòu)到組成成分等各種信息，因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、生物、材料等諸多領(lǐng)域。隨著SEM的應(yīng)用范圍在不斷擴(kuò)大，對(duì)觀察時(shí)間的縮短、信號(hào)的迅速高效采集提出了更進(jìn)一步的需求。

近年，冷場(chǎng)技術(shù)幾乎是高分辨觀察SEM市場(chǎng)的主流，但近來(lái)SEM市場(chǎng)開(kāi)始顯現(xiàn)出一些微妙的變化，用戶中有一些特定需求的聲音逐漸浮出：“冷場(chǎng)SEM雖然分辨率高且穩(wěn)定，但在超大束流分析時(shí)還有些不足”，所以在超大束流分析（如WDX）熱場(chǎng)便成為一種新的需求。結(jié)合客戶的心聲，日立高新經(jīng)過(guò)兩年時(shí)間開(kāi)發(fā)，推出了全新一代熱場(chǎng)技術(shù)掃描電鏡-SU7000。

　　此次推出的SU7000采用全新設(shè)計(jì)的探測(cè)器，使得對(duì)二次電子信號(hào)、背散射電子信號(hào)的檢測(cè)以及分離能力大大提升。以前我們要根據(jù)獲得的信號(hào)來(lái)調(diào)整樣品與透鏡之間的距離(工作距離/以下簡(jiǎn)稱WD)，以設(shè)置的觀察與分析條件，而SU7000通過(guò)新研發(fā)的樣品倉(cāng)以及檢測(cè)器系統(tǒng)，可在不改變WD的條件下更高效地接收各種信號(hào)，縮短了樣品觀察和分析的時(shí)間，提高了測(cè)試效率。

　　而且，SU7000還配置了可同時(shí)6通道顯示界面(前代機(jī)型只能同時(shí)顯示4通道)，進(jìn)一步升級(jí)SEM控制系統(tǒng)，大幅提高了信號(hào)獲取速度，由此實(shí)現(xiàn)了樣品的高通量觀察。

　　它還標(biāo)配超大樣品倉(cāng)，增設(shè)了附件接口，可適用于各種樣品的觀察與分析。

　　據(jù)悉，日立高新將在8月5日(星期日)~8月9日(星期四)在美國(guó)馬里蘭州舉辦的“Microscopy & Microanalysis”及9月5日(星期三 )~9月7日(星期五)在幕張展示中心(千葉縣千葉市)舉辦的“JASIS 2018”上展示這款SU7000，預(yù)計(jì)每年銷量有望達(dá)150臺(tái)。

　　日立高新表示：“日立科學(xué)系統(tǒng)事業(yè)部以2020年成為電子顯微鏡行業(yè)一為中期戰(zhàn)略目標(biāo)，今后仍將全力推動(dòng)產(chǎn)品研發(fā)與市場(chǎng)推廣，努力為制造業(yè)作出更大的貢獻(xiàn)。作為、前沿的事業(yè)創(chuàng)新型企業(yè)，今后以成為提供和解決方案的企業(yè)為目標(biāo)，始終站在客戶的立場(chǎng)，快速滿足客戶和市場(chǎng)需求?！?/p>

　　【主要特點(diǎn)】

　　1.在相同WD的條件下，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)二次電子、背散射電子觀察與EDX分析

　　2.最多可同時(shí)實(shí)現(xiàn)6通道檢測(cè)與顯示

　　3.在像素10240 x 7680時(shí)，也可獲得圖像數(shù)據(jù)

　　4.同級(jí)別*設(shè)備中最多的可配置18個(gè)附件接口

　　5.支持300Pa的低真空模式(選配)

　　*空間分辨率在1 nm/1 kV以下

　　【主要規(guī)格】