激光干涉儀根據(jù)不同的光學基礎有多種類型的干涉儀產品，但干涉儀因為其原理整體產品有以下優(yōu)缺點。

高精度。

以光學組件來說, 因為組件的微小變化均會嚴重改變原有的光學質量，因此必須要有非常精確的測量儀器, 干涉儀具有精度非常高的優(yōu)點, 可達1/100的波長甚至到1/1000的波長, 波長是指干涉儀中使用光源的波長值.舉例來說：一般干涉儀的波長為632.8( nm ),而 632.8的百分之一約為6個(nm) , 目前的納米科技是在這個尺度, 甚至有些更好的干涉儀可以到0.6個(nm)。

第二. 測量方式為非接觸式測量。

另一種測量用的輪廓儀是使用接觸式的測量方式, 即使目前已可以微調接觸的力量, 但對于表面較脆弱的被測量物是否真的不會造成損害則仍無法確定.而當用干涉儀測量時, 是把光照射到被測量的物體上, 所以干涉儀上的探針也就是光, 并不會對物體表面照成任何傷害

第三 速度快。

使用探針來測量時無法一次測量所有的面積, 而可能必需分很多掃瞄線去測量, 相對來說, 干涉儀的測量速度就非常快了, 可能幾秒鐘就測完了, 而不需要等待幾個小時的時間.

第四 干涉儀的缺點，使用門檻高。

一個操作員在會使用干涉儀卻不太清楚干涉儀的使用限制、條件及原理的時候, 可能會測量到不是他所要的東西, 而且, 因為干涉儀是用光線測量, 在調整上也會花費多的時間, 可能測量結果只要花幾秒鐘, 但事前的調整卻要花費幾十分鐘甚至數(shù)個小時.