球面干涉儀（Spherical Interferometer）是一種用于測量光學鏡面的曲率半徑和表面形狀的儀器。球面干涉儀要使用標準球面鏡頭進行校準，同時配備至少三維調整架，以便對待測的球面進行夾持，并在軸向方向進行微小位移調整。當標準球面和待測樣品的焦距滿足特定關系，并且待測樣品是凹球面或凸球面，其曲率中心與標準球面鏡的焦點對準時，可以使用此配置來檢測樣品的表面形狀和不規(guī)則性。

對于被測樣品為凹球面的情況，干涉儀標準球面鏡頭的口徑并沒有特定限制要求，但標準球面的焦距必須等于或小于樣品被測面的焦距。只有在滿足這個條件時，光束才能覆蓋（取樣）測量區(qū)域，從而進行全口徑的測量。

被測樣品為凹面時的測量原理圖

對于被測樣品為凸面時，情況要比被測樣品為凹面時復雜得多，選擇主要遵循以下幾個原則：

被測樣品表面的球面半徑必須小于主表面的曲率半徑。

被測樣品的孔徑盡量小于所選擇的鏡頭的孔徑，如果被測樣品的孔徑大于所選擇的鏡頭的孔徑，則可能出現(xiàn)非全口徑測量。

為了節(jié)約成本，盡量使選用的鏡頭的孔徑與被測樣品的孔徑接近。

盡量保證被測件的被測百分比>50%。

這些原則有助于在被測樣品為凸面的情況下，選擇合適的光學鏡頭和配置，以實現(xiàn)準確且全口徑的測量。

被測樣品為凸面時的測量原理圖