等離子體技術(shù)的特點(diǎn)是不分材料的幾何形狀和類(lèi)型，均可進(jìn)行PLASMA處理，對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物、PET纖維、PDMS、PTFE、ITO/FTO導(dǎo)電玻璃、硅片和大多數(shù)高分子材料，如液晶高分子、聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、聚四氟乙烯和石墨烯粉末、金屬氧化物粉末、硼粉、鋁粉、熒光粉等都能很好地處理，可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗、活化、改性、蝕刻。
國(guó)際通用的小型真空等離子處理儀激發(fā)頻率有三種：40KHz、13.56MHz、2.45GHz，采用這三種激發(fā)頻率的真空等離子處理儀分別是SUNJUNE善準(zhǔn)科技的VP-S、VP-R/RS和VP-Q系列，選擇適合的等離子處理儀能保證材料表面不被損傷，也能提升材料物理和化學(xué)性能，真空等離子處理儀處理材料是在真空環(huán)境下進(jìn)行，不污染環(huán)境，保證樣品表面不被二次污染，泄壓時(shí)可以選擇氮?dú)庑箟?，避免空氣泄壓?duì)材料的影響，市面上真空等離子處理儀有眾多的品牌和型號(hào)，因此，選擇合適的尤為關(guān)鍵，下面就真空等離子處理儀的選型做簡(jiǎn)單說(shuō)明。
硅片PLASMA等離子處理，提升親水性 VP-R系列對(duì)標(biāo)國(guó)際一線廠商，補(bǔ)充國(guó)內(nèi)技術(shù)短板
一、材料的大小
真空等離子處理是要把材料放入真空腔內(nèi)進(jìn)行處理，選擇真空腔尺寸的參考因素是材料的大小和批處理的數(shù)量，一般科研型的真空等離子處理儀的腔體是圓柱體，容積有2L、3L、5L和10L，材料尺寸大、批處理的量多，則選用大尺寸的腔體，反之，選擇小尺寸，一般選擇的是直徑150mm，深度200mm，容積3L的真空腔體。
二、材料的耐熱度
有些型號(hào)的真空等離子處理儀清洗腔在儀器運(yùn)行時(shí)，腔內(nèi)溫度會(huì)隨著清洗時(shí)間的增加逐漸升高，比如廣州善準(zhǔn)的VP-S系列不銹鋼腔體真空等離子處理儀運(yùn)行180秒，測(cè)出的腔體內(nèi)溫度是60攝氏度，運(yùn)行超過(guò)10分鐘，腔體溫度會(huì)達(dá)到85攝氏度，而VP-Q系列石英腔體真空等離子處理儀運(yùn)行180秒，測(cè)出的腔體內(nèi)溫度是40攝氏度，運(yùn)行時(shí)間超過(guò)10分鐘，腔體溫度達(dá)43攝氏度。
善準(zhǔn)的VP-R系列石英腔體真空等離子處理儀運(yùn)行180秒，測(cè)出的腔體內(nèi)溫度是32攝氏度，即使運(yùn)行1800秒，即半個(gè)小時(shí)，清洗腔內(nèi)依然能保持32攝氏度，這一數(shù)據(jù)能和國(guó)際一線廠商相媲美，如果材料不耐熱，則選VP-Q或者VP-R/RS系列，樣品對(duì)溫度很敏感，建議選VP-R系列。
三、等離子體的激發(fā)頻率
常用的真空等離子處理儀激發(fā)頻率有三種：40KHz，13.56MHz和2.45GHz；不同等離子體激發(fā)頻率產(chǎn)出的自偏壓不一樣。40KHz的自偏壓為1000V左右，13.56MHz自偏壓為250V左右，2.45GHz的自偏壓則更低，這三種激發(fā)頻率的機(jī)制不同，產(chǎn)生的作用就不一樣。等離子體激發(fā)頻率為40KHz的真空等離子處理儀對(duì)材料產(chǎn)生的作用為物理作用（物理作用——利用等離子體里大量的離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子作純物理的撞擊，把樣品表面的原子或附著材料表面的原子打掉，清除表面原有的污染物和雜質(zhì)，與此同時(shí)會(huì)產(chǎn)生刻蝕效應(yīng)，將樣品表面變“粗糙”，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面積，提高樣品表面的潤(rùn)濕性能）。
等離子體激發(fā)頻率為13.56MHz的真空等離子處理儀對(duì)樣品既有物理作用又有化學(xué)作用（化學(xué)作用——讓樣品表面原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，激活表面，起到改性、活化以及納米級(jí)蝕刻）。等離子體激發(fā)頻率為2.45GHz的真空等離子處理儀對(duì)樣品產(chǎn)生的作用有物理作用但更主要的反應(yīng)為化學(xué)作用，需要把樣品活化、改性要用13.56MHz或者2.45GHz的真空等離子處理儀，比如善準(zhǔn)科技的VP-R/RS和VP-Q系列。
需要特別說(shuō)明的是有一些材料處理既需要物理作用，也需要化學(xué)作用，這個(gè)時(shí)候應(yīng)該選用頻率是13.56MHz的VP-R/RS系列。
物理作用-玻璃基片VP-S5等離子處理 物理與化學(xué)作用-PDMS材料VP-RS8等離子處理
四、是否需要通入氣體等擴(kuò)展應(yīng)用
真空等離子處理儀在發(fā)展過(guò)程中，不斷結(jié)合客戶(hù)的實(shí)際需要開(kāi)發(fā)出新的功能，從功能上來(lái)分真空等離子處理儀主要分為手動(dòng)版和自動(dòng)版，手動(dòng)版也叫基礎(chǔ)版，價(jià)格較為便宜，自動(dòng)版相對(duì)于手動(dòng)版功能上增加了設(shè)置清洗時(shí)間、自動(dòng)泄壓、微電腦控制、提供兩路進(jìn)氣（以便在清洗的時(shí)候通入氧氣或其他特定氣體，也有客戶(hù)把可以通入氧氣清洗的真空等離子處理儀稱(chēng)為氧等離子處理儀），手動(dòng)版和自動(dòng)版都可以對(duì)泄壓速度進(jìn)行調(diào)節(jié)（處理粉末樣品泄壓速度要慢，以免粉末被吹起），泄壓時(shí)可以提供氮?dú)庑箟航涌诘?，建議客戶(hù)在預(yù)算充裕的情況下選擇自動(dòng)版本，后期的使用要方便很多。
五、需要處理的材料是否有粉末樣品
等離子處理技術(shù)應(yīng)用越來(lái)越廣泛，粉末和微小顆粒的等離子處理一直是一個(gè)難點(diǎn)，按照常規(guī)的處理方法：在培養(yǎng)皿上平鋪一層粉末，放入清洗腔進(jìn)行等離子處理，處理了一次之后再拿出來(lái)攪拌，再放入清洗腔處理，來(lái)回多次，以便使粉末樣品得到均勻處理，這個(gè)操作的痛點(diǎn)在于每次只能處理很少的量，而且需要來(lái)回進(jìn)行攪拌處理，非常耗時(shí)耗力，關(guān)鍵還不能保證粉末樣品處理的均勻性。
為解決這一難題，善準(zhǔn)工程師反復(fù)測(cè)試，耗時(shí)3年研發(fā)出旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀VP-T系列，VP-T系列提供兩個(gè)型號(hào)：VP-T3和VP-TS7，VP-T3采用13.56MHz頻率和石英腔體，VP-TS7采用13.56MHz頻率和不銹鋼腔體，旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀的特點(diǎn)就是清洗腔可旋轉(zhuǎn)，能夠確保粉末或細(xì)微顆粒樣品等離子處理的均勻性，腔體的轉(zhuǎn)速可以調(diào)節(jié)，也可以選擇不旋轉(zhuǎn)，一機(jī)兩用，性?xún)r(jià)比很高，對(duì)處理粉末樣品優(yōu)勢(shì)很明顯。
ITO導(dǎo)電玻璃不耐熱，VP-R系列腔體溫度小于32°C 石墨烯粉末VP-T3旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理
六、選擇可靠的品牌
進(jìn)口等離子清洗設(shè)備發(fā)展較早，產(chǎn)品較為成熟，但供貨時(shí)間較長(zhǎng)，售后維修服務(wù)不及時(shí)，產(chǎn)品升級(jí)換代較慢，在人性化設(shè)計(jì)、自動(dòng)化程度和擴(kuò)展應(yīng)用上沒(méi)有及時(shí)更新、升級(jí)，且價(jià)格較高。國(guó)內(nèi)等離子清洗市場(chǎng)處于快速發(fā)展階段，各個(gè)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量參差不齊，有些廠家缺乏基礎(chǔ)研究和應(yīng)用知識(shí)，品牌意識(shí)不強(qiáng)，對(duì)售后服務(wù)不重視，一錘子買(mǎi)賣(mài)。
廣州善準(zhǔn)成功獲得“低溫真空石英腔體等離子清洗裝置（號(hào)：ZL.8）”等十項(xiàng)國(guó)家，成為國(guó)內(nèi)成功掌握產(chǎn)生13.56MHz頻率，保證滿功率運(yùn)行30分鐘真空腔體溫度不超過(guò)32攝氏度的等離子生產(chǎn)廠家，應(yīng)用此技術(shù)的VP-R系列迅速成為行業(yè)“爆款”，補(bǔ)充國(guó)內(nèi)技術(shù)短板，在性能上媲美國(guó)際一線廠商。
VP-T系列旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀的研發(fā)成功，則進(jìn)一步鞏固了善準(zhǔn)在真空等離子行業(yè)的品牌地位，善準(zhǔn)還是行業(yè)主動(dòng)承諾質(zhì)保兩年（真空泵除外）的廠家，建立了成熟完善的售后服務(wù)體系，建議用戶(hù)結(jié)合預(yù)算和實(shí)驗(yàn)需求，選擇適合的品牌和型號(hào)，以確保所購(gòu)買(mǎi)的等離子處理儀能長(zhǎng)期穩(wěn)定工作并達(dá)到可靠的處理效果。
七、用戶(hù)成果展示
刊名：ACS Applied Materials & Interfaces（中科院SCI分區(qū)：1區(qū)）
題目：Improving the Performance of Blue Polymer Light-Emitting Diodes Using a Hole Injection Layer with a High Work Function and Nanotexture
使用儀器：SUNJUNE PLASMA VP-R5
處理材料：ITO（氧化銦錫）導(dǎo)電玻璃
------------------------------------------------------- 精選新聞 ------------------------------------------------------
【會(huì)議總結(jié)】善準(zhǔn)科技祝賀第二屆有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管會(huì)議（OFET-2）圓滿成功
摘要：善準(zhǔn)科技助力第二屆全國(guó)有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管會(huì)議（OFET-2），對(duì)現(xiàn)場(chǎng)老師關(guān)注的等離子處理和石英管真空密封等問(wèn)題進(jìn)行歸納回復(fù)。----------------------------------------2019-12-27
【應(yīng)用案例】PLASMA處理ITO導(dǎo)電玻璃（視頻）——客戶(hù)來(lái)樣測(cè)試系列二
摘要：VP-R3等離子處理ITO導(dǎo)電玻璃具有表面改性和提升其潤(rùn)濕性作用。--------------------------------------------------------------------------------------------------2020-04-13
【選型指南】石英管真空封管機(jī)系統(tǒng)選型指南
摘要：干貨！必讀！結(jié)合石英管真空密封的具體需要，從石英管的尺寸，樣品的類(lèi)型，要求的真空度等六個(gè)方面給出選型、選配指南。--------------------------------------------2019-11-29
1.本文版權(quán)歸網(wǎng)站和廣州善準(zhǔn)科技有限公司所有；
2.未經(jīng)廣州善準(zhǔn)科技有限公司允許不得轉(zhuǎn)載本文內(nèi)容，否則將視為侵權(quán)；
3.轉(zhuǎn)載或者引用本文內(nèi)容請(qǐng)注明來(lái)源；
4.對(duì)于不遵守此聲明或者其他違法使用本文內(nèi)容者，我司依法保留追究權(quán)等。
網(wǎng)站客服
