熱反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光閃射系統(tǒng)，可測(cè)量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數(shù)，如：熱擴(kuò)散系數(shù)、導(dǎo)熱系數(shù)、蓄熱系數(shù)和界面熱阻。由于激光閃射時(shí)間僅為納秒（ns）量級(jí)，甚至可達(dá)到皮秒（ps）量級(jí)，此系統(tǒng)可測(cè)量厚度低至10nm 的薄膜。同時(shí)，系統(tǒng)提供不同的測(cè)量模式，以適應(yīng)不同的基片情況（透明/ 不透明）。
技術(shù)參數(shù)：
| NanoTR | ||
| 溫度范圍 | RT | |
| 測(cè)量模式 | RF/FF | |
| 樣品尺寸 | 10*10mm … 20*20mm | |
| 薄膜厚度 | RF: 金屬：1 … 20μm 陶瓷：300nm … 5μm 聚合物：30nm … 2μm FF：> 1μm | |
| 基片厚度 | < 1 mm | |
| 熱擴(kuò)散溫升時(shí)間 | 10ns … 10μs | |
| 熱擴(kuò)散系數(shù)（mm2/s） | 0.01…1000mm2/s | |
| 操作系統(tǒng) | Windows 7 | |
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