VPS-RF10是一款小型科研用射頻真空等離子清洗機，擁有多層處理電極，有效提高腔體利用率，滿足多種清洗需求 。其原理是利用高頻的交變電場作用于真空氣體中，形成大量的等離子體，通過復雜的物理和化學過程來去除材料表面的污染物。采用這種方法能夠提升材料的粘附性與濕潤性，去除不同類型的污染物和雜質，從而為之后的工序奠定良好的基礎。
PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機特點：進口等離子電源電路技術、放電結構，確保等離子體均勻分布
PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機應用：提高親水性、提高粘接性、有機物清洗、PDMS鍵合、硅片玻璃清洗、氧化物還原
產品參數：
型號 | VPS-RF10 |
等離子頻率 | 13.56MHz自動阻抗匹配 |
極限真空度 | 1Pa |
功率 | 0-300W（可調） |
腔體尺寸 | 230(L)*270(D)*200(H)mm |
腔體容積 | 11L |
單層有效處理面積 | 210（L）×220（D）mm |
處理層數 | 3層 |
極板間距 | 58mm |
腔體材質 | 進口級316L不銹鋼 |
氣路數量 | 2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣等（腐蝕性氣體需定制） |
控制方式 | PLC+觸摸屏 |
電源 | AC220V/50Hz |
外形尺寸 | 550mm(L)×580mm(W) ×500mm(H) |
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