VPS-RF10是一款小型科研用射頻真空等離子清洗機(jī),擁有多層處理電極,有效提高腔體利用率,滿足多種清洗需求 。其原理是利用高頻的交變電場(chǎng)作用于真空氣體中,形成大量的等離子體,通過(guò)復(fù)雜的物理和化學(xué)過(guò)程來(lái)去除材料表面的污染物。采用這種方法能夠提升材料的粘附性與濕潤(rùn)性,去除不同類型的污染物和雜質(zhì),從而為之后的工序奠定良好的基礎(chǔ)。
PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機(jī)特點(diǎn):進(jìn)口等離子電源電路技術(shù)、放電結(jié)構(gòu),確保等離子體均勻分布
PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機(jī)應(yīng)用:提高親水性、提高粘接性、有機(jī)物清洗、PDMS鍵合、硅片玻璃清洗、氧化物還原

      產(chǎn)品參數(shù):
型號(hào)  | VPS-RF10  | 
等離子頻率  | 13.56MHz自動(dòng)阻抗匹配  | 
極限真空度  | 1Pa  | 
功率  | 0-300W(可調(diào))  | 
腔體尺寸  | 230(L)*270(D)*200(H)mm  | 
腔體容積  | 11L  | 
單層有效處理面積  | 210(L)×220(D)mm  | 
處理層數(shù)  | 3層  | 
極板間距  | 58mm  | 
腔體材質(zhì)  | 進(jìn)口級(jí)316L不銹鋼  | 
氣路數(shù)量  | 2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮?dú)?,氫氣等(腐蝕性氣體需定制)  | 
控制方式  | PLC+觸摸屏  | 
電源  | AC220V/50Hz  | 
外形尺寸  | 550mm(L)×580mm(W) ×500mm(H)  | 

                
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