NanoMap-D雙模式輪廓儀(三維形貌儀, 3D Profiler)
輪廓儀，又稱三維形貌儀，3D Profiler
其它產(chǎn)品：接觸式輪廓儀，探針掃描式輪廓儀，非接觸式輪廓儀，白光干涉式輪廓儀，激光共聚焦式輪廓儀，雙模式輪廓儀(接觸式和非接觸式)
特點(diǎn)：
高精度
· 的縱向分辨率：0.1 nm ( 接觸式)；0.05 nm(光學(xué)非接觸式)
· 對周圍環(huán)境和光源的強(qiáng)適應(yīng)性
· 沒有機(jī)械過濾
寬闊的垂直測量范圍
· 多種選擇光學(xué)頭及接觸式
· 縱向掃描范圍 10 to 500 µm(針尖掃描)
· 圖像“縫合”技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)
試用于幾乎所有的表面
· 透明，不透明，反射光強(qiáng)等多種材料
· 垂直臺階，高寬深比，隆起，孔洞
· 脆性的材料，軟材料，柔性材料表面
· 尖銳的，堅(jiān)硬的，磨損的表面
適應(yīng)性強(qiáng)
· 白光光源，人體安全設(shè)計(jì)，長壽命白光LED 免維護(hù)?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
· 接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的結(jié)合
· 接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
· 在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察
· 針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍(至500μm)及亞納米級垂直分辨率 (最小０.１nm )
· 軟件設(shè)置恒定微力接觸(0.5 to 100 [mg])
美國AEP Technology其它產(chǎn)品：
NanoMap500WLS非接觸式輪廓儀(三維形貌儀)
NanoMap500LS接觸式輪廓儀(三維形貌儀)
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