專用等離子設備 Tetra-2-PC，卷到卷
技術參數：
外殼：
寬 3491 mm、高 1000 mm、深 1278 mm
腔室：
長 1050 mm、∅ 90 mm
腔室容積：
約 2 升
氣源：
2 個由 MFCs 控制的氣體通道
發(fā)生器：
2 件（分別為 40 kHz）
（可選： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）
控制系統(tǒng)：
配有工業(yè)現場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)
自動化：
卷到卷
上海爾迪儀器科技有限公司
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專用等離子設備 Tetra-2-PC，卷到卷
技術參數：
外殼：
寬 3491 mm、高 1000 mm、深 1278 mm
腔室：
長 1050 mm、∅ 90 mm
腔室容積：
約 2 升
氣源：
2 個由 MFCs 控制的氣體通道
發(fā)生器：
2 件（分別為 40 kHz）
（可選： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）
控制系統(tǒng)：
配有工業(yè)現場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)
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