在很多THZ應用中都要求對光束進行處理。目前常采用的的方法是拋物柱面鏡和衍射光學元件。盡管衍射光學元件是最近才開始采用的，但是仍有不少人采用，因為它可以實現(xiàn)THZ波的空間分布的改變。

為了滿足THZ波段的衍射需求，我們提供下列衍射光學元件（DOE）：
- THz Fresnel 透鏡
- THz 光束分配器

主要參數:

*衍射效率是某個衍射級的衍射光和入射光的比例。我們的衍射元件可以實現(xiàn)達到96%的衍射效率。

THz Fresnel 透鏡

Fresnel透鏡是的衍射元件，用以聚焦單設THz波。該透鏡不像其他衍射透鏡一樣會產生球差。

衍射透鏡有兩個焦距：一個主焦距，一個次焦距。主焦距I1/I的衍射效率是40%，次焦距I2/I的衍射效率<3.6%,這個已經在實驗中得到了證明。用自由電子激光器作光源，矩陣探測器來探測的實驗已經證明了這一點。

生產焦距從100mm甚至更長的透鏡是有可能的，焦距的公差是5%。

我們可以用公式X=1.22*λ*F/D 來計算Airy disk的尺寸，這里λ是波長，F是焦距，D是光學直徑。

THz 光束分配器

光束分配器可以把入射波改變成特定功率空間分布的幾個電磁波。（+1和-1級）衍射效率為40(+/-2)%，其他的<5%.衍射角可以從20度到80度。